CoolEpic系列设备是我公司在今年3季度面向市场推出的全新产品,该系列产品主要面向半导体行业推出。
CoolEpic主要特点是超低的制冷温度,超快的制冷速度和超高的制冷效率。其制冷温度最低可达零下155度。在如此低的制冷温度下,制冷盘管不仅仅可以吸附水汽,同时可以吸附二氧化碳,氨气和氯气,可以大大提升真空室内洁净度。同时极限真空可以达到-8至-9托。在标准负载下,制冷15分钟就可以达到零下150度,大大缩短抽真空所需时间。
目前设备已经开始量产,有需要的客户欢迎咨询。